基于MEMS背壓測量技術(shù),集成溫度傳感器,高精度高可靠性,介質(zhì)兼容性?xún)?yōu)異,擴展性強,在熱泵系統寬范圍溫度-40~150C
EHB壓力傳感器是一款基于金屬厚膜技術(shù)的高壓壓力傳感器,采用全金屬封裝設計和高精度感壓技術(shù),具備優(yōu)秀的過(guò)載耐壓和高精度測
基于厚膜電阻壓阻效應,將壓力/力等物理量轉化為電信號。受力后,敏感元件產(chǎn)生彈性形變導致電橋電阻阻值變化。力傳感器輸出與壓
壓力傳感器是一種基于硅壓阻效應, 采用 CMOS 技術(shù)與 MEMS 混
是一種基于硅壓阻效應的MEMS壓力傳感器。壓力芯片采用硅微加工工藝制作而成,待測壓力作用于硅膜片背面,硅膜片正面與玻璃基
燃油壓力傳感器是一種基于硅壓阻效應,采用MEMS技術(shù)實(shí)現的壓力傳感器。待測壓力從芯片背面加載在硅膜片上,從而使得傳感器可
真空度壓力傳感器是一種基于硅壓阻效應, 采用 CMOS 技術(shù)與 MEMS&nbs
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雙路壓力傳感器是一種基于硅壓阻效應的MEMS壓力傳感器。壓力芯片采用硅微加工工藝制作而成,待測壓力作用于硅膜片背面,硅膜
是一種基于硅壓阻效應的MEMS壓力傳感器。壓力芯片采用硅微加工工藝制作而成,待測壓力作用于硅膜片背面,硅膜片正面與玻璃基
壓力傳感器是一種基于硅壓阻效應,采用CMOS技術(shù)與MEMS混合技術(shù)實(shí)現的微差壓傳感器。待測壓力從芯片背面加載在硅膜片上,
壓力傳感器是一種基于硅壓阻效應, 采用 CMOS 技術(shù)與 MEMS 混